پديد آور :
ماكابه ، توشياكي
مترجم :
مترجمان عليرضا گنجوي ، اعظم ميرزايي ، صغري صدر
شناسه هاي افزوده :
پ پتروويچ ، ز , پ گنجويي ، عليرضا، 1355 - , پ ميرزايي ، اعظم ، 1364 - , پ صدر، صغري، 1362 -
عنوان :
الكترونيك پلاسما: مورد استفاده در ساخت ابزارهاي ميكروالكترونيكي
شرح پديد آور :
نويسندگان توشي ياكي ماكابه ، زوران ال جي پتروويچ ,
عنوان به زبان ديگر :
Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication.
مشخصات ظاهري :
494 ص .: مصور، جدول ، نمودار
