پديد آور

ماكابه ، توشياكي

مترجم

مترجمان عليرضا گنجوي ، اعظم ميرزايي ، صغري صدر

اطلاعات نشر

تايماز

سال نشر

1393

موضوع

مهندسي پلاسما

شناسه هاي افزوده

پ پتروويچ ، ز , پ گنجويي ، عليرضا، 1355 - , پ ميرزايي ، اعظم ، 1364 - , پ صدر، صغري، 1362 -

شماره

/044

شمارة كاتر

م 155 الف

عناوين ديگر

ردة اصلي

621

عنوان

Name: الكترونيك پلاسما: مورد استفاده در ساخت ابزارهاي ميكروالكترونيكي
Author: ماكابه ، توشياكي

شماره ركورد

27887

شرح پديد آور

نويسندگان توشي ياكي ماكابه ، زوران ال جي پتروويچ ,

عنوان به زبان ديگر

Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication.

مشخصات ظاهري

494 ص .: مصور، جدول ، نمودار

لينک به اين مدرک